定位系统

产品类别 参考图片 产品系列及应用
解决方案 施耐博格-解决方案
机架、彩色过滤打印、移动基质、间隔干涉量度法、阵列测试器选用定制的平板显示器解决方案;
XY开放式掩盖检测与维修、XYT晶片检测与计量 (AOI)、XYT+Z系统、包括控制器与主动隔振系统、高通量晶片检测 XYZT系统、集成的XYZT晶片检测系统,其中包括主动隔离系统选用半导体解决方案;主轴与附加轴、大型打印单轴,包括Z轴、三维打印引擎选用打印解决方案;
大型薄膜划线工具用移动基质和4个激光头、Y机架XZ系统用于激光划线工具用太阳能解决方案;
5 轴系统用于电子束检测、楔形设计的Z轴用于电子束应用、XY系统用于平板印刷和度量衡(EUV)、XYT度量衡和电子束检测、带有固定电机的XY系统、Y机架X阶段用于光刻工具、SEM XYT运动平台选用真空解决方案;牙科、光学、生命科学选用相对应的解决方案;
核心能力 施耐博格-定制系统核心能力
晶片计量生产应用高动态精密轴选用施耐博格定位系统中的CFRP组件(碳纤维增强复合材料);
  • 12条记录